科幂仪器
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TF☆ | ☆ | P☆ | ☆ | ☆ |
型号 | 工作温度(℃) | 炉管外径(mm) | 加热区数量 | 加热区长度(mm) |
TFH：卧式型 | 1200：1200℃ | 25：Φ25mm | Ⅰ：单温区 | 150：150mm |
TFV：立式型 | 1500：1500℃ | 30：Φ30mm | Ⅱ：双温区 | 220：220mm |
TFR：回转型 | 1700：1700℃ | 50：Φ50mm | Ⅲ：三温区 | 290：290mm |
TFM：多工位型 | 60：Φ60mm | 440：440mm | ||
TFP：高压型 | 80：Φ80mm | |||
TFC：CVD | 100：Φ100mm | |||
TFE：PECVD | ||||
TFG：气氛焙烧型 | ||||
TFD：定制型 |
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| 微型助力管式炉（了解更多） | 实验级助力管式炉（了解更多） |
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| 1500开启式单温区管式炉（了解更多） | 1700单温区管式炉（了解更多） |
参数/类型 | TFH卧式管式炉 | ||||
按工作温度分类 | 1200℃系列 | 1500℃系列 | 1700℃系列 | ||
系列分类 | 微型助力管式炉 | 实验级助力管式炉 | 1500开启式单温区管式炉 | 1500单温区管式炉 | 1700单温区管式炉 |
最高温度 | 1200℃（短期） | 1200℃（短期） | 1500℃（短期） | 1450℃（短期） | 1700℃ |
额定温度 | 1100℃ | 1100℃ | 1400℃ | 1400℃ | 1600℃ |
升温速率 | ≤10℃/min | ≤10℃/min | 10℃/min（≦1400℃） | ≤10℃/min | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
炉管尺寸 | Φ30*500mm Φ50*500mm | Φ50*1000mm Φ60*1000mm Φ80*1000mm Φ1000*1000mm | Φ50*1000mm Φ60*1000mm Φ80*1000mm | Φ30*1000mm Φ50*1000mm Φ60*1000mm | Φ30*1000mm Φ50*1000mm |
炉膛尺寸 | Φ80*220mm | Φ120*440mm | 400*150*150mm | 260*190*130mm | 290*160*130mm |
加热区长度 | 220mm | 440mm | 400mm | 260mm | 290mm |
恒温区长度 | 60-80mm | 120mm | 120mm | 80mm | 100mm |
加热元件 | 北京首钢HRE | 北京首钢HRE | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 1800级硅钼棒 |
额定功率 | 1.5kW | 3kW | 6kW | 6kW | 7.5kW |
适配电源 | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ |
外形尺寸 | 340*320*380mm | 580*500*520mm | 670*580*750mm | 510*560*640mm | 820*500*760mm |
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参数/类型 | TFV立式管式炉 | |
按加热区长度分类 | 微型立式管式炉 | 实验级单温区立式管式炉 |
最高温度 | 1200℃（短期） | 1200℃（短期） |
额定温度 | 1100℃ | 1100℃ |
升温速率 | 10℃/min | ≤10℃/min |
控温精度 | ±1℃ | ±1℃ |
炉管尺寸 | Φ30*550mm Φ50*550mm | Φ30*1000mm Φ50*1000mm Φ60*1000mm Φ80*10000mm |
炉膛尺寸 | Φ80*220mm | Φ120*440mm |
加热区长度 | 220mm | 440mm |
恒温区长度 | 60mm | 120mm |
加热元件 | 北京首钢HRE | 北京首钢HRE |
额定功率 | 1.5kW | 3kW |
适配电源 | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ |
外形尺寸 | 340*300*1200mm | 460*400*890mm |
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参数/类型 | TFR回转管式炉 | |
按加热区长度分类 | 微型回转炉 | 实验级回转炉 |
最高温度 | 1200℃（短期） | 1200℃（短期） |
额定温度 | 1100℃ | 1100℃ |
升温速率 | 0-20℃/min | 0-20℃/min |
控温精度 | ±1℃ | ±1℃ |
炉管尺寸 | Φ30*700mm/Φ50*150mm | Φ60/Φ100*1000mm（异型） |
加热区长度 | 220mm | 440mm |
恒温区长度 | 60mm | 120mm |
旋转速度 | 0-10r/min可调 | 0-10r/min可调 |
加热元件 | 北京首钢HRE | 北京首钢HRE |
额定功率 | 1.5kW | 3kW |
适配电源 | AC220V 50/60HZ | AC220V 50/60HZ |
外形尺寸 | 340*300*380mm | 880*420*520mm |
旋转速度 | 0-10r/min可调 | 0-10r/min可调 |
参数/类型 | TFP高压管式炉 |
产品类型 | 可持续进样高温高压管式炉 |
最高温度 | 1200℃（短期） |
额定温度 | 1100℃ |
炉管尺寸 | Φ50*Φ42*1000mm |
炉管材质 | 高温合金钢GH3128（可定制） |
加热元件 | 北京首钢HRE |
工作温度与压力对照 | 管内最大压力：≤5MPa、≤6MPa、≤7MPa、≤9MPa 加热温度：≤750°C、≤500°C、≤400°C、≤200°C |
工作气体 | 惰性气体和氮气；不可通入易燃易爆性气体 |
进气流量控制 | 高压质子流量控制器 |
产物收集装置 | 冷凝器；气液分离罐 |
尾气收集 | 气袋；尾气端流量监控系统 |
外形尺寸 | 1400*600*1200mm |
| 参数/类型 | TFE等离子化学气相沉积 |
| 产品类型 | 单温区PE-CVD系统 |
| 最高温度 | 1150℃（短期） |
| 额定温度 | 1100℃ |
| 升温速率 | ≤10℃/min |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 炉管尺寸 | Φ50*1200mm |
| 炉膛尺寸 | Φ80*220mm |
| 加热区长度 | 220mm |
| 恒温区长度 | 80mm |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 额定功率 | 3KW |
| 供气系统 | 三路高精度MFC 量程0-500sccm |
| 射频电源 | 射频功：5-500W；射频频：13.56MHz；匹配方式：自动匹配 |
| 真空系统 | 双级旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等） |
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm |
| 参数/类型 | TFG催化剂气氛焙烧活化器 |
| 产品类型 | 催化剂气氛焙烧活化器 |
| 额定温度 | 1100℃ |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 样品池容积 | 10mL（可定制） |
| 样品池直径 | 30mm |
| 加热区长度 | 220mm |
| 转子流量计的量程 | 30-200mL/min（可定制） |
| 控制系统 | 双通道智能控温 |
| 额定功率 | 2KW |
| 适配电源 | AC220V 50/60HZ |
| 外形尺寸 | 660*320*580mm |
| 参数/类型 | TFD定制型管式炉 |
| 产品类型 | 热重立式炉 |
| 最高温度 | 1100℃（短期） |
| 额定温度 | 1000℃ |
| 加热元件 | 电阻丝 |
| 炉管尺寸 | Φ70*Φ50*350mm（其他可定制） |
| 加热区长度 | 220mm |
| 升温速率 | ≤10℃/min |
| 额定功率 | 3.5kW |
| 适配电源 | AC220V 50/60HZ |
| 外形尺寸 | 800*500*1550mm |
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